KAIST 전석우-신종화 신소재공학과 교수 연구팀이 차세대 반도체 공정 핵심 기술인 3차원의 나노 구조를 단일 노광으로 효율적으로 제작하는 방법을 개발했다고 밝혔습니다.
기존의 2차원 평면 노광 방식이 아닌 3차원 나노 구조를 단 한번의 노광으로 구현할 수 있음을 실험적으로 증명한 것인데 국제 학술지인 '사이언스 어드밴시스'에 온라인 게재되었다고 합니다.
이것이 잘 상용화되어 우리 반도체 관련 기업들의 경쟁력 강화에 도움이 되었으면 좋겠네요.
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국내연구진, 차세대 반도체 핵심 기술 개발
M6
느낌하나
22.05.27. 11:38:37
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