로이터 통신은 상하이 아이성나 전자 기술 그룹(Shanghai Aishengna Electronic Technology Group)이 중국 최초의 국산 액침 심자외선(DUV) 리소그래피 스캐너를 생산하는 국영 기업으로 지목했다고 보도했다. 이는 해당 프로그램 소식이 전해진 지 하루 만에 제조사가 밝혀진 것이다. 아이성나는 2023년 8월에 약 10억 달러(70억 위안)의 등록 자본금으로 설립되었으며, 상하이 위량성 기술(Shanghai Yuliangsheng Technology)과 상하이 마이크로 일렉트로닉스 장비(Shanghai Micro Electronics Equipment)의 엔지니어링 팀을 흡수한 것으로 알려졌다.
Shared Research의 분석에 따르면, 2022년 전 세계 코터/디벨로퍼 시장에서 Tokyo Electron은 89%의 점유율을 기록했으며, 최고 경영자는 EUV 생산에서 100%에 가까운 점유율을 언급했다. 스캐너는 웨이퍼를 노광하는 역할만 수행한다. 레지스트 필름을 도포하고, 베이킹하며, 노광 후 패턴을 현상하는 것은 트랙의 역할이다. 트랙은 스캐너와 기계적 및 열적으로 일치해야 하며, 단일 클러스터로 함께 구매된다. Shenyang Kingsemi는 28nm급 트랙 기술을 달성했으며 현재 14nm급 기술을 목표로 한다.
CXMT는 2026년 말까지 월 약 35만 장의 웨이퍼 생산량을 달성할 것으로 예상되며, 이는 2020년 4만 장에서 크게 증가한 수치로 Micron보다 약 2만 5천 장 적다. CXMT는 EUV 접근이 불가능하므로 1a 및 1b급 노드의 DRAM 스케일링은 액침 다중 패터닝으로 진행되며, 이는 리소그래피가 생산량의 병목이 됨을 의미한다. 2026년 1분기 DRAM 계약 가격은 전 분기 대비 93%에서 98% 상승했으며, TrendForce는 2분기에 58%에서 63% 추가 상승하여 DRAM 산업 매출이 81% 증가한 970억 달러에 이를 것으로 전망했다. 따라서 CXMT에게는 낮은 오버레이 및 처리량에도 불구하고 국산 액침 장비 확보가 중요하다.
2025년 ASML 매출의 33%를 차지했던 중국 시장은 2026년 2분기에 약 14%로 감소했다. ASML의 2분기 매출 93억 유로 중 설치 기반 관리(서비스 및 업그레이드 사업)는 28억 유로를 기록했다. H.R. 8170 법안은 중국 내 모든 목적지로의 액침 DUV 시스템 수출 및 서비스 제공을 금지하며, SMIC, Hua Hong, Huawei, CXMT, YMTC를 법적으로 제한된 기업으로 지정한다. ASML의 전 최고 경영자 Peter Wennink는 대부분의 중국 장비를 서비스할 수 있지만, 수출 통제 대상인 미국산 예비 부품은 사용할 수 없다고 언급했으며, 이는 MATCH Act가 확대하려는 메커니즘이다.
출처: Tom's Hardware
원문: https://www.tomshardware.com/tech-industry/semiconductors/shanghai-aishengna-named-as-the-maker-of-chinas-first-domestic-immersion-duv-scanners
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