삼성전자는 25일 극자외선 공정을 적용해 생산한 1세대(1x) 10나노미터(㎚)급 DDR4 D램 모듈 100만개 이상을 글로벌 고객사에 공급했다고 밝혔습니다. 

극자외선 공정은 반도체 원판(웨이퍼) 위에 회로를 그릴 때 불화아르곤 대신 빛으로 그리기 때문에 더 미세한 작업이 가능한 방식이라고 합니다.

이는 반도체 업계 최초로 극자외선 D램 양산 체제를 구축했다는 의미입니다.

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출처 : http://www.hani.co.kr/arti/economy/economy_general/934189.html