삼성전자가 삼성 파운드리 포럼 2021에서 투과율 82%의 EUV 펠리클을 확보했으며, 연말까지 투과율을 88%까지 끌어올릴 계획이라며 EUV 펠리클 직접 개발 소식을 전했습니다.
ASML, 미쓰이화학과 TSMC 등이 EUV 펠리클을 개발해 진출해 있는 시장에 삼성이 직접 내재화에 나선거 같은데, 이런게 잘되어 타 업체들보다 경쟁력을 높히는 쪽으로 잘 상용화가 적용되었으면 좋겠네요.
정보
삼성, EUV 공정 필수품 펠리클 직접 개발
2021.10.18. 02:00:30
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